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　　高純氣體需要高質(zhì)量的減壓器能否將高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持合格的質(zhì)量，不僅對(duì)供氣系統(tǒng)的規(guī)

　　劃、設(shè)計(jì)、施工安裝、驗(yàn)收測(cè)試到運(yùn)營(yíng)各個(gè)階段有十分嚴(yán)格的要求，而且對(duì)高純氣體供氣系統(tǒng)中的輸送氣路和各類閥門(mén)的材質(zhì)和選用有嚴(yán)格要求。

　　為了確保終端用氣點(diǎn)性能的穩(wěn)定，不僅需要保持氣體壓力的穩(wěn)定性和連續(xù)的流量，而且需要有良好的保護(hù)措施防止氣體使用端的污染。任何氣體供應(yīng)系統(tǒng)中，對(duì)壓縮氣體的安全處理需要具備對(duì)法規(guī)及技術(shù)知識(shí)的綜合了解。

　　高純氣路系統(tǒng)的質(zhì)量是由一系列性能決定的：

　　低泄漏率,高密封性

　　小化死角設(shè)計(jì)

　　哈氏合金膜片耐腐蝕,使用壽命長(zhǎng)

　　阻尼系統(tǒng)

　　吹掃功能

　　連接口沒(méi)有異物阻擋氣流,保證安全

　　系統(tǒng)終的安裝和后期維護(hù)也是需要特別注意的。

　　雙級(jí)減壓器

　　適用于惰性氣體、可燃?xì)怏w、助燃?xì)怏w及混合氣體

　　純度

　　進(jìn)氣壓力

　　出氣壓力范圍0.2 – 10.5 bar / 3 –

　　設(shè)計(jì)特點(diǎn)

　　雙級(jí)設(shè)計(jì)使得出氣壓力保持恒定，幾乎不受進(jìn)氣壓力影響

　　隔膜閥帶90°關(guān)斷功能 (FMD 502-16) 或流量調(diào)節(jié)閥

　　膜片式減壓器

　　符合ATEX認(rèn)證的防爆、柔性的調(diào)壓手輪

　　描述

　　這些減壓器包含了鋼瓶接頭、減壓器母體、高低壓表、隔膜閥(型號(hào)-16)及流量調(diào)節(jié)閥(型號(hào)-18)及泄壓閥(如出氣

　　壓力>50bar)及卡套接頭。加裝感應(yīng)式壓力表和壓力報(bào)警盒能更好的實(shí)現(xiàn)氣體監(jiān)控功能。

　　應(yīng)用

　　系列鋼瓶減壓器提供了廣泛的使用范圍和良好的性能。

　　帶隔膜閥的500-16型可以讓減壓器在調(diào)壓的同時(shí)打開(kāi)/切斷氣流。帶流量調(diào)節(jié)閥的FMD 502-18型使得氣體流量

　　的調(diào)節(jié)更為精準(zhǔn)。雙級(jí)設(shè)計(jì)保證了出氣壓力的恒定，幾乎不受進(jìn)氣壓力影響。

　　技術(shù)參數(shù)

　　母體: 經(jīng)特殊清洗處理、電拋光的316L (1 .4404) 或

　　經(jīng)特殊清洗處理、鍍鎳和鍍鉻的黃銅

　　級(jí)閥座密封

　　級(jí)閥座密封

　　密封材質(zhì): PCTFE (不銹鋼), PTFE (銅鍍鉻

　　泄壓閥密封材質(zhì): 不銹鋼

　　銅鍍鉻

　　性能參數(shù): 請(qǐng)見(jiàn)第五章

　　基本參數(shù): 請(qǐng)見(jiàn)第11頁(yè)

　　壓力表量程: -1 – 5 bar (-15 –

　　– 10 bar (-15 –

　　– 18 bar (-15 –

　　– 315 bar (0 –

　　重量: 約2 .1 kg (型號(hào) -14), 2 .4 kg (型號(hào)

　　尺寸 (寬×高×深): 約225×140×

　　鋼瓶連接標(biāo)準(zhǔn): 符合

　　減壓器參數(shù)

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